美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器

產(chǎn)品特點(diǎn)

- 高精度控制：壓力控制精度高，壓力讀數(shù)精度為±1% of reading，壓力控制精度為±0.2% of f.s.（<10% f.s.）；±1% of reading（>10% to 100% f.s.）。

- 快速響應(yīng)：響應(yīng)時(shí)間小于1秒（不包括系統(tǒng)時(shí)間常數(shù)），能快速對壓力變化做出反應(yīng)，實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控制。

- 全金屬流路：采用全金屬密封流路，表面光潔度達(dá)5µinch Ra，材質(zhì)符合SEMI F20 HP標(biāo)準(zhǔn)，包括316L VIM/ VAR、哈氏合金C - 22等，可確保無顆粒、水分和污染，適用于高純度要求的工藝。

- 多氣體/多量程：部分型號支持多氣體/多量程功能，可存儲和預(yù)編程多達(dá)10種氣體校準(zhǔn)和量程，減少庫存并提高設(shè)備通用性。

- 通信與診斷功能：具備數(shù)字通信功能，支持DeviceNet™、RS485 L - protocol等通信協(xié)議，方便與其他設(shè)備集成和遠(yuǎn)程控制。同時(shí)具有獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口，便于設(shè)備評估、故障排除和維護(hù)。

產(chǎn)品規(guī)格

- 流量范圍：PC115的流量范圍為20sccm - 5slm（僅N?和H?），PC125的流量范圍為10slm（僅N?和H?）。

- 壓力范圍：傳感器壓力范圍為1000托（fs），壓力控制范圍大于2%至100%。

- 工作溫度：溫度范圍為10 - 50°C。

- 泄漏完整性：外部泄漏率最大為1×10?1?atm scc/sec（氦氣）。

應(yīng)用領(lǐng)域

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體優(yōu)良蝕刻工具、薄膜化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）、物理氣相沉積（PVD）系統(tǒng)等對壓力控制精度和純度要求高的領(lǐng)域

美國Brooks布魯克斯金屬密封壓力控制器

日常維護(hù)

- 外觀與連接檢查：檢查控制器外殼有無損傷、腐蝕，金屬密封處有無磨損、變形，確保無泄漏。查看各連接部位，包括管道和電氣連接，保證連接牢固，無松動(dòng)、滲漏。

- 運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測：留意控制器的運(yùn)行聲音，若有異常噪音，可能表示內(nèi)部有部件故障。觀察壓力顯示值是否穩(wěn)定，若出現(xiàn)波動(dòng)或異常，需及時(shí)排查原因。

定期維護(hù)

- 清潔處理：定期打開外殼，用干凈軟布擦拭內(nèi)部電子元件、電路板上的灰塵。對于金屬密封部件，可用溫和的清潔劑去除油污、雜質(zhì)，再用清水沖洗并擦干，避免使用腐蝕性清潔劑。

- 性能校準(zhǔn)：每年或按使用情況縮短校準(zhǔn)周期，使用高精度標(biāo)準(zhǔn)壓力源和測量設(shè)備校準(zhǔn)，在全量程多點(diǎn)校準(zhǔn)并記錄數(shù)據(jù)，偏差超范圍時(shí)，需專業(yè)人員調(diào)整或送修。

- 部件檢查：查看內(nèi)部電子元件有無過熱、燒焦、電容鼓包等損壞跡象，及時(shí)更換損壞元件。檢查金屬密封的閥芯、閥座等部件，有磨損、損壞時(shí)，應(yīng)修復(fù)或更換原廠配件。

環(huán)境維護(hù)

- 工作環(huán)境監(jiān)測：確?？刂破髟谝?guī)定的溫度、濕度范圍內(nèi)工作，避免在高溫、潮濕、有腐蝕性氣體的環(huán)境中使用，遠(yuǎn)離振動(dòng)源和強(qiáng)磁場。

- 安裝位置檢查：定期檢查安裝位置是否正確、牢固，防止管道應(yīng)力傳遞到控制器上，若管道有振動(dòng)或位移，應(yīng)及時(shí)調(diào)整固定。

記錄與文檔管理

建立詳細(xì)的維護(hù)記錄檔案，記錄維護(hù)時(shí)間、內(nèi)容、校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、更換部件等信息，以便分析運(yùn)行狀況，為維修、校準(zhǔn)和設(shè)備更新提供參考